论文部分内容阅读
本文报道了作者在同步辐射X射线光刻研究中的一些新进展，其中，最细尺寸已达50纳米。
纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究
【摘 要】
：
本文报道了作者在同步辐射X射线光刻研究中的一些新进展，其中，最细尺寸已达50纳米。
【机 构】
：
中国科学院微电子中心,中国科学院高能物理研究所
【出 处】
：
北京同步辐射装置年报
【发表日期】
：
1997年1期
其他文献
【正】我国中等职业教育培养的方向和目标是能满足社会对各级、各类应用型技术人才的需要,那么娴熟的实践操作技能,就成为中职学生毕业后能否适应社会需要的关键。从实践来看
将四新戊氧基酞菁锌的甲苯溶液旋涂成膜，经光学显微镜观察，薄膜表面光滑连续，小角度X射线衍射谱图中有规律的Keissig干涉峰说明膜厚均匀，红外反向光谱显示，未加热的薄膜中的分子排
2011年6月25至27日，由教育部、天津市人民政府、人力资源和社会保障部等16个部门共同主办的2011年全国职业院校技能大赛在天津隆重举行。
随着经济全球化步伐的加快。当前国与国之间的竞争实际上是人才的竞争，提高民族创新能力需要大量创新型人才的涌现。创新是企业发展的灵魂。文章提出企业创新型人才培养需要改
互联网宽带、移动技术和电子信息技术的快速发展和普及,给人们的生活带来了极大的方便,同时互联网信息安全也面临严重的威胁和隐患。文章结合当下大数据时代的具体信息安全问
介绍了泰来县大力推广水稻病虫害专业化统防统治工作，积极贯彻“预防为主，综合防治”的植保方针和“公共植保，绿色植保”的理念，全县积极发展水稻病虫害专业化统防统治组织，全县统
中国是一个诗歌的国度，中国的文化都是诗意的。诗歌是以最精练的艺术形式集中反映人的情感和社会化生活的文学样式。中国自古就有“诗言志”的说法，毛长苌在《诗大序》中写道“
项目教学法是一种师生共同参与，以任务的完成引导学生完成知识内容的学习，培养学生的综合职业能力。在高职《机械设计基础》的课程教学中，开展项目教学法应注重项目的设计与任务
【正】所谓实训,即职业技能实际训练,是指在学校控制状态下,按照人才培养规律与目标,对学生进行职业技术应用能力训练的教学过程。学校建立的专门用以实训教学的场所,称为实
目的探讨肝门部胆管癌患者术前口服胆汁的效果与护理。方法我科2012年8月到2014年1月肝门部胆管癌患者80例,均于术前行经皮肝穿刺胆汁外引流术(PTCD),按照剔除标准7例患者未