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用平行板电容传感器测量微小尺寸可获得高精度、好的动态特性和易于实现信号转换及后续控制与处理.但用普通平行板电容传感器来测量圆柱面径向微小尺寸则受到精度、量程范围及诸多因素的限制.因此本文着重对一种改进的特殊平行板电容传感器进行分析讨论,并给出非线性修正方法.
圆柱面径向微小尺寸测量用特殊平行板电容传感器讨论
【摘 要】
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用平行板电容传感器测量微小尺寸可获得高精度、好的动态特性和易于实现信号转换及后续控制与处理.但用普通平行板电容传感器来测量圆柱面径向微小尺寸则受到精度、量程范围及诸多因素的限制.因此本文着重对一种改进的特殊平行板电容传感器进行分析讨论,并给出非线性修正方法.
【机 构】
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运输工程学院装机室机电一体化实验室,天津大学精密仪器工程系300161
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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1996年09期
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