论文部分内容阅读
在光学非球面镜制造过程中，由于诸工艺参数的影响，能否保证非球面方程各个系数的精度是一个重要问题．为利用非球面检测数据拟合非球面方程，将常见的高次非球面方程进行归类：抛物线型，W型和M型，并提出相应类型下高次非球面方程的线性化方法，由此转化为线性化最小二乘问题．经过实例验证，该方法对抛物线型的拟合精度高达1μm，w和M型的拟合精度高达10μm．该方法操作简单，不需要初值，可靠性高，可以达到较好的拟合效果．