论文部分内容阅读
通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）方法生长ZnO薄膜。XRD测试显示出（002）晶面的强衍射峰，表明生长的ZnO薄膜是主度的C轴取向。基于ZnO薄膜基础，我们制备了ZnO基薄膜晶体管。
氧化锌薄膜生长与ZnO基薄膜晶体管制备
【摘 要】
：
通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）方法生长ZnO薄膜。XRD测试显示出（002）晶面的强衍射峰，表明生长的ZnO薄膜是主度的C轴取向。基于ZnO薄膜基础，我们制备了ZnO基薄膜晶体管。
【机 构】
：
长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院,吉林建筑工程学院,吉林大学
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
：
2008年1期
【基金项目】
：
This work is supported by NCET（No. 05-0326, NSFC （No. 60576054, 60576043,60576056）, Jilin Univresity Innovation Foundation, project of Chang chun science and technology plans with contract number of 2
其他文献
厦门公交集团海沧公共交通有限公司(以下简称海沧公交公司)现有营运车辆393台、线路38条,覆盖了全区各镇、场、重点村,形成了四通八达的运输网络,现有职工942人、500多名农民
11月23日,交通运输部党组书记、部长杨传堂在部党组理论学习中心组(扩大)学习贯彻党的十八大精神专题研讨班上强调,要深刻领会党的十八大精神实质,切实把干部职工的思想和行
镁盐在治疗心律失常、冠心病、心肌梗塞、心衰等疾病中收到明显效果，甚至作为首选药物。镁是许多酶的辅助因子．参与ATP的磷酸水解和转移，对K-NaATP泵、钙ATP泵是必不可少的。对