Optimal Control of Oxygen Concentration in a Magnetic Czochralski Crystal Growth by Response Surface

来源 :材料科学技术学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:moniter2001
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反应表面方法论的概念和技术广泛地在工程的许多分支被使用了,特别在化学、生产的区域。Thispaper 在磁性的水晶 Czochralski 生长系统 fors 壁炉水晶硅介绍方法论的一个应用程序在一个尖顶磁场在晶体成长接口优化氧集中。模拟证明反应表面方法论是为 Czochralski 晶体成长过程的优化的一个可行算法。
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