【摘 要】
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新兴行业的不断兴起给真空泵带来了快速发展的机遇,同时也对真空泵的集成化、高效率、节约空间、高技术含量提出了更高的要求。本文提出了一种三轴式的罗茨真空泵,对其抽气过
【机 构】
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东北大学机械工程与自动化学院,北京卫星环境工程研究所,中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司,
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新兴行业的不断兴起给真空泵带来了快速发展的机遇,同时也对真空泵的集成化、高效率、节约空间、高技术含量提出了更高的要求。本文提出了一种三轴式的罗茨真空泵,对其抽气过程进行了介绍,并基于啮合原理,给出了一种典型的四叶圆弧型转子的型线方程。通过对抽气过程的建模分析,在抽气效率、压缩比、旋转应力和热变形等方面,与常规的双轴式罗茨真空泵进行了对比。计算和模拟结果表明,在空间尺寸增加不多的情况下,三轴式罗茨真空泵具有接近两倍的抽速、良好的压缩比和更好的动平衡特性的特点,具有较好的技术优势和发展前景。
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