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基于微机电系统(MEMS)技术研制的微型继电器具有体积小、功耗低、开关迅速、稳定性高等优势,将有效弥补传统电磁继电器和固态继电器之间的不足。其三维磁场分析是电磁系统优化设计的基础。文中应用毕奥-萨伐尔定律和积分方程法,分析了微机械电磁继电器磁场分布特性,计算结果与有限元法结果进行比较,表明所用方法对于微机械电磁继电器三维恒定磁场的分析是可行的。基于已有模型的结构特点设计了电磁系统的改进方案,通过分析比较活动电极电磁吸力的分布规律,确定了中心平面线圈结构设计方案将更加合理。结合线圈圈数、激励电流与电磁吸力之