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本文全面分析了SEMI国际标准的策略和特点，结合我国电子信息产业的现状和发展需求，探讨了半导体设备和材料标准化发展战略。
产业发展与半导体设备和材料标准化
【摘 要】
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本文全面分析了SEMI国际标准的策略和特点，结合我国电子信息产业的现状和发展需求，探讨了半导体设备和材料标准化发展战略。
【机 构】
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信息产业部电子第四研究所
【出 处】
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电子产品世界
【发表日期】
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2003年09B期
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