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在光机热耦合过程中,核心思想是如何把变形或光程差转化新的光学面型,一般习惯上用多项式的形式。文章提出一种算法可以使计算RMS达到10^-13,计算精度可以达到10^-16,实际案例中最大位移误差可以减少2个量级,从而最大位移量由116nm,下降到1nm左右。
一种用于光机热耦合过程中的非线性曲率拟合算法
【摘 要】
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在光机热耦合过程中,核心思想是如何把变形或光程差转化新的光学面型,一般习惯上用多项式的形式。文章提出一种算法可以使计算RMS达到10^-13,计算精度可以达到10^-16,实际案
【机 构】
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上海索辰信息科技有限公司技术研发部
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2019年14期
【基金项目】
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上海市科委科研计划项目(编号:17511103700),科技部“高性能计算”重大专项(编号:2017YFB0203703),上海市经信委工业互联网创新发展专项资金项目(编号:2017-GYHLM-01039).
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