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本文设计了一套用于HFCVD系统中轴承内圈NCD涂层制备的电极装置,同时在热交换过程的分析基础上对该系统进行了热流耦合分析。对进气参数进行优化后,衬底温度场及气体流场分布均匀。在数值分析的基础上,在氮化硅陶瓷内圈上成功制备了NCD膜。
Si3N4陶瓷轴承内圈NCD膜制备中的热流耦合分析
【摘 要】
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本文设计了一套用于HFCVD系统中轴承内圈NCD涂层制备的电极装置,同时在热交换过程的分析基础上对该系统进行了热流耦合分析。对进气参数进行优化后,衬底温度场及气体流场分布
【机 构】
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南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2009年03期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.50605032);江苏省自然科学基金资助项目(No.BK2006189No.BK2007193)
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