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根据准分子激光器的使用要求,建立了一套准分子激光器用含氟混合气体配制与净化装置,并规定了操作规程.按规程应用该装置配制的含氟混合气,可以使准分子激光器的有效工作时间延长2～3倍,激光器中镜面的使用寿命平均延长3～5倍.实践证明,该装置的建立是可行的.
准分子激光器用含氟混合气体配制与净化装置的建立
【摘 要】
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根据准分子激光器的使用要求,建立了一套准分子激光器用含氟混合气体配制与净化装置,并规定了操作规程.按规程应用该装置配制的含氟混合气,可以使准分子激光器的有效工作时间
【机 构】
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核工业理化工程研究院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2005年5期
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