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针对压电伺服系统中执行机构的应用特点，分析指出压电超声马达不适宜用作高精度伺服系统中的执行机构，而是应该采用压电堆驱动的执行机构。对于压电堆驱动器的迟滞特性，提出采用便于进行仿真研究的Bouc－Wen迟滞模型，用Bouc－Wen模型分析了压电堆驱动器的非线性迟滞特性和它的补偿问题。提出了采用基于负反馈原理的扰动观测器来补偿迟滞，进一步分析了具有迟滞特性的压电伺服系统的自振荡问题，并与齿隙滞环引起的自振荡进行了比较，指出带压电滞环反馈的系统中是不会出现自振荡的。基于上述分析，提出了一种压电伺服系统的设计指导