气冷罗茨真空泵内气体热力过程的计算研究

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本文以双叶气冷罗茨泵为研究对象,对其内部气体的输运过程进行热力学研究。从气冷罗茨泵的基本结构和工作原理入手,将被抽气体在泵内经历的过程分解为吸气、注气、压缩、排气四个阶段;讨论各个阶段的特点和机理,应用热力学知识,对每个阶段进行定量分析,得到被抽气体的体积、质量、压力、温度、内能、焓、熵等热力学参数随时间变化的计算公式;探究排气功率与进、排气口压力的关系;并以ZJL-600型气冷罗茨泵为例计算说明。 In this paper, the double-leaf gas-cooled Roots pump is taken as the research object, and its internal gas transport process is studied thermodynamically. Starting from the basic structure and working principle of the air-cooled Roots pump, the process of the evacuated gas in the pump is decomposed into four phases: suction, gas injection, compression and exhaust. The characteristics and mechanism of each phase are discussed. Knowledge of each stage of the quantitative analysis of the body to be drawn gas volume, mass, pressure, temperature, internal energy, enthalpy, entropy and other thermodynamic parameters over time formula; explore exhaust power and inlet and outlet pressure Of the relationship; and ZJL-600-type air-cooled Roots pump as an example to illustrate.
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