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多孔硅由于其制备方法简单、拥有极大的内表面积、广泛的孔径尺寸、可控的表面改性以及与传统硅集成技术兼容等特点,成为传感器件中理想的敏感材料。简述了多孔硅电化学传感器和光学传感器的研究进展,包括多孔硅湿度传感器、多孔硅气敏传感器、多孔硅有机蒸气传感器、多孔硅生物传感器。最后指出了阻碍多孔硅基传感器商业化的影响因素,并展望了多孔硅传感器的发展方向。