【摘 要】
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为提高相位测量轮廓术中正弦光栅的精度,提出一种基于MEMS微振镜的新型正弦光栅产生方法。采用对矩形光栅叠加的思想,在图像传感器一次曝光过程中,对多幅亮度相同、周期相同
【机 构】
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西安邮电大学电子工程学院,西安邮电大学物联网与两化融合研究院
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为提高相位测量轮廓术中正弦光栅的精度,提出一种基于MEMS微振镜的新型正弦光栅产生方法。采用对矩形光栅叠加的思想,在图像传感器一次曝光过程中,对多幅亮度相同、周期相同、占空比不同的矩形光栅进行光积分,最终输出正弦光栅图像。实验分析表明,相比基于光强调制方式的传统正弦光栅产生方法,该方法解决了非线性失真问题,能够产生更高精度的正弦光栅,具有成本低、体积小、能够通过编程灵活变换光栅图案等优点。
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