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该文介绍了一种用半导体激光器构建微型迈克尔逊干涉仪的方法.这种方法能应用于微振动的精确测量.实验证明,用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜,并且具有很高的灵敏度和准确度.
用于微振动测量的微型迈克尔逊干涉仪的构建
【摘 要】
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该文介绍了一种用半导体激光器构建微型迈克尔逊干涉仪的方法.这种方法能应用于微振动的精确测量.实验证明,用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜,并且具有
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院
【出 处】
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南京理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2002年6期
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