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HL—1M装置硼化膜的研究
HL—1M装置硼化膜的研究
来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:twpt168
【摘 要】
:
HL-1M装置采用C2B10H12蒸气对真空室内壁进行了原位硼化,取得了满意的效果,采用沉积探针技术并结合四级极质谱分析技术对膜的成分,热解释性能D束辐照化学腐蚀性能,HL-1M装置第一壁成膜的平均速率和膜
【作 者】
:
王明旭
张年满
【机 构】
:
核工业西南物理研究院
【出 处】
:
四川真空
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
第一壁
硼化
膜性能
托卡马克
Inner wallofvacuum chamber
Boronization
Film performance.
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HL-1M装置采用C2B10H12蒸气对真空室内壁进行了原位硼化,取得了满意的效果,采用沉积探针技术并结合四级极质谱分析技术对膜的成分,热解释性能D束辐照化学腐蚀性能,HL-1M装置第一壁成膜的平均速率和膜厚的均匀度以及硼化前后的碳,氧杂质和放电期间器壁再循环特性进行了研究。
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