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<正> 溅射薄膜压力传感器是一种新型的应变式压力传感器。与其它应变式传感器相比,具有迟滞和蠕变小、长期稳定性好等优点。所研制的2CYJ型溅射薄膜压力传感器其精度可优于0.1%,个别指标,如重复性、迟滞可优于0.05%,工作温度范围为-55℃～+150℃。
2CYJ型溅射薄膜压力传感器
【摘 要】
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<正> 溅射薄膜压力传感器是一种新型的应变式压力传感器。与其它应变式传感器相比,具有迟滞和蠕变小、长期稳定性好等优点。所研制的2CYJ型溅射薄膜压力传感器其精度可优于0.
【机 构】
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航空部第六三四研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1986年2期
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