【摘 要】
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<正> 电子信息技术是当前世界重大科技需求中最具重要性、创新性及高科技属性的研究领域,当今发达国家国民生产总值增长的很大部分与电子产业有关。半导体集成电路器件工业的
【机 构】
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薄膜与微细技术教育部重点实验室/上海交通大学微纳米科学技术研究院
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<正> 电子信息技术是当前世界重大科技需求中最具重要性、创新性及高科技属性的研究领域,当今发达国家国民生产总值增长的很大部分与电子产业有关。半导体集成电路器件工业的增长速率一般为 GDP 增长的几倍,在21世纪内可能成为全球的第一产业。半导体集成电路的发展方向是尺寸更小,从而使运行速度更快、集成密度更高、功耗和成本更低。随着制造技术的发展,预计到2010年半导体器件的尺寸将小于100纳米,届时将遇到纳电子器件制造工艺、结构设计和纳米
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