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据“Rubber World”杂志网站2018年1月813报道，Kalrez9600是美国DowDuPont公司为满足半导体工业的需求而开发的一种平衡性能好、纯度高的全氟橡胶，在面对苛刻环境及新兴的高温等离子体领域的应用中密封效果持久，表现出优异的耐臭氧、氨、氟、氧自由基性能，以及超低的透气性和出色的热稳定性。该氟橡胶由专用交联体系制备并以其独特的橄榄绿色为标志，特别适用于等离子体沉积（原子层沉积和化学气相沉积）和半导体行业的下一代芯片蚀刻工艺领域。