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9月24日，光电国家实验室MEMS研究部两项“863”计划自动化领域MEMS专项课题——“低成本、高性能真空熔焊封装关键技术与装备的研究”和“基于MEMS技术的胰岛素泵的研究”验收会在我校举行．
两项“863”计划自动化领域MEMS专项课题通过验收
【摘 要】
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9月24日，光电国家实验室MEMS研究部两项“863”计划自动化领域MEMS专项课题——“低成本、高性能真空熔焊封装关键技术与装备的研究”和“基于MEMS技术的胰岛素泵的研究”验收
【出 处】
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华中科技大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2006年11期
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