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阐述了气相扩镓的化学系统和工艺特征，分析了扩镓表面波度与镓杂质蒸气压的关系．在确定的开管装置中，以氢气作为固态Ｇａ＿２Ｏ＿３源的反应和输运气体，凭借准确控制扩散条件，获得了良好的扩散均匀性、重复性和一致性．更多还原
气相扩镓的化学系统及工艺特征
【摘 要】
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阐述了气相扩镓的化学系统和工艺特征，分析了扩镓表面波度与镓杂质蒸气压的关系．在确定的开管装置中，以氢气作为固态Ｇａ＿２Ｏ＿３源的反应和输运气体，凭借准确控制扩散条件，获得了良好的扩散均
【机 构】
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山东师范大学半导体研究所,山东师范大学数学系
【出 处】
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山东师大学报(自然科学版)
【发表日期】
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1994年3期
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