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介绍了低压压敏陶瓷的导电机理、研究途径，实验并分析了掺入TiO2、籽晶和稳定剂Ta2O5对材料性能的影响及作用原理，做出了适合集成电路用的低压压敏陶瓷材料。
用于集成电路低压压敏陶瓷材料的研究
【摘 要】
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介绍了低压压敏陶瓷的导电机理、研究途径，实验并分析了掺入TiO2、籽晶和稳定剂Ta2O5对材料性能的影响及作用原理，做出了适合集成电路用的低压压敏陶瓷材料。
【机 构】
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山东电力高等专科学校,山东沂光电子公司,山东大学信息科学与工程学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年8期
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