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本文介绍了外压式毛细管超过滤器的结构、性能，并与内压式毛细管超过滤器进行了对比。外压式毛细管超过滤器完全可以除去７０Ａ°以上的胶体、二氧化硅、细菌和内毒素，是适应ＶＬＳＩ需要的最佳终端设备。
用于高纯水制备中外压式毛细管超过滤器
【摘 要】
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本文介绍了外压式毛细管超过滤器的结构、性能，并与内压式毛细管超过滤器进行了对比。外压式毛细管超过滤器完全可以除去７０Ａ°以上的胶体、二氧化硅、细菌和内毒素，是适应ＶＬＳＩ需要
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,日东电工滋贺工厂,日东电工北京办事处
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1995年5期
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