月基极紫外相机多层膜反射镜

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liu1208

【摘要】

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月基极紫外相机用于月球表面对地球等离子体层辐射出的30.4nm谱线进行成像观测,多层膜反射镜是月基极紫外相机的重要光学元件。根据月基极紫外相机技术参数,选择了B4C/Mg,B4C

【作者】

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刘震高劲松陈波王彤彤王笑夷申振峰陈红

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

【出处】

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光谱学与光谱分析

【发表日期】

：

2013年1期

【关键词】

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极紫外多层膜反射镜磁控溅射反射率等离子体层 EUV Multilayer mirror Magnetron sputtering Reflecti

【基金项目】

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国家自然科学基金项目（40774098,10878004）资助

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月基极紫外相机用于月球表面对地球等离子体层辐射出的30.4nm谱线进行成像观测,多层膜反射镜是月基极紫外相机的重要光学元件。根据月基极紫外相机技术参数,选择了B4C/Mg,B4C/Mg2Si,B4C/Al,B4C/Si,Mo/Si等材料,对其周期厚度、材料比例、周期数等参数进行优化。计算了以上材料组合在30.4nm的反射率曲线。考虑到月球环境的特殊性和材料的物理化学性质,从中选择出Mo/Si和B4C/Si两种组合,利用磁控溅射进行镀制。Mo/Si和B4C/Si多层膜在30.4nm反射率分别达到15.3%和

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