【摘 要】
：
在CMP中,由于抛光垫在与其接触的晶圆边缘产生异常压力点,以及转台和承载器旋转的线速度之差在边缘处较其他点大得多,从而导致了晶圆边缘效应的产生。阐述了承载器在CMP中的
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
论文部分内容阅读
在CMP中,由于抛光垫在与其接触的晶圆边缘产生异常压力点,以及转台和承载器旋转的线速度之差在边缘处较其他点大得多,从而导致了晶圆边缘效应的产生。阐述了承载器在CMP中的作用,详细分析了边缘效应产生的原因和克服的方法。在承载器上采用与晶圆保持适当间隙的保持环结构,对保持环施加适当的压力,使保持环和晶圆位于同一抛光平面上;针对旋转式CMP设备固有的线速度之差导致片内非均匀性增大的问题,对200mm晶圆划分两区域进行微压力补偿,同时详细说明了压力补偿气路的设计和实现的功能,指出今后多区域微压力补偿将采用矩阵控制
其他文献
间充质干细胞(Mesenchymal stem cells,MSCs)是具有自我复制和多向分化潜能的一类多能干细胞。目前成人骨髓是MSCs的主要来源。由于骨髓间充质干细胞(bone marrow mesenchyma
目的观察依达拉奉联合超早期溶栓治疗急性脑梗死（ACI）患者的效果。方法选取2014年9月至2017年1月信阳市第一人民医院收治的70例ACI患者,按随机数表法分为对照组及观察组,各35例
采用TOPO辅助油相合成的化学方法制备出单分散的CdSe量子点。通过透射电子显微镜、X射线粉末衍射、粒径分布、紫外-可见吸收光谱和光致发光谱等多种测试手段对产物进行了表征
双电层是电渗流形成的关键因素，通过分析双电层的产生过程，解释了电渗流的形成机制，探讨了与直流电渗流形成相关的Poisson—Boltzmann方程、Laplace方程及Navier-Stokes三个基本
我院自1998年1月～2002年12月共收治颅脑损伤患者540例,其中死亡48例,病死率为8.89%.现对本组死亡病例进行分析,探讨死亡原因及其影响因素,总结报道如下.
电流控制模式的开关电源变换器在占空比D〉0.5时,存在次谐波振荡问题,因此必须进行斜坡补偿。在分析了峰值电流模式的DC/DC转换器中斜坡补偿原理的基础上,介绍了一种用于斜坡
目的探讨23G微创玻璃体切割术治疗恶性青光眼的疗效。方法回顾性分析我院2014年1月—2017年1月收治70的例恶性青光眼患者,根据病史不同分为2组,A组为继发性青光眼患者,B组为
介绍了共振隧穿二极管（RTD）中电荷积累效应，利用顺序隧穿模型分析了RTD中有电荷积累时器件各部分电压的再分布；并结合电压降局限于双势垒区和遍及整个RTD的两种情况，建立了电荷和
介绍了纳米量级 PEBBLE 传感器的特点、制备方法、当前的应用及发展趋势,重点阐述了基于对细胞内氧成分探测的比例参量 PEBBLE 传感器。
<正> 人类利用纤维植物已很久远。在化学纤维、合成纤维迅速发展的今天,由于植物纤维柔软、具弹性、透气性好、不带静电、容易染色、抗拉力大、吸湿性强和穿着舒服等优点,仍