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采用溶胶—凝胶旋涂法,通过氢气还原及快速退火两种方式在Si（100）基片上获得纳米Fe Co Pd/Si O2复合薄膜,并对其进行了X射线衍射仪（XRD）和振动样品磁强计（VSM）表征分析,进一步研究不同退火方式对纳米Fe Co Pd/Si O2复合薄膜样品结构和磁性能的影响.结果表明,经过氢气还原处理后,薄膜中的Fe Co具有较强的（200）择优取向,且薄膜的矫顽力较小,表现出较好的软磁特性.