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提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点,对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展,在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档,以获得更高的纳米级的测量分辨率的新方法,并进行了详细充分的实验验证 .
一种用计量光栅实现 2nm测量分辨率的新方法
【摘 要】
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提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点,对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展,在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档,以获得更高的纳
【机 构】
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天津大学精北京光电量仪研究中心,;
【出 处】
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城市道桥与防洪
【发表日期】
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2004年期
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