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超声喷雾热解法（USP）是近些年来新兴的一种制备涂层导体的方法,使用该方法制备涂层导体薄膜具有沉积速度快、廉价以及非真空等优点. 对USP法的基本过程进行了阐述,综合评述了近年来采用该方法制备涂层导体的研究进展,并对其未来发展趋势加以展望.
超声喷雾热解制备涂层导体研究进展
【摘 要】
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超声喷雾热解法（USP）是近些年来新兴的一种制备涂层导体的方法,使用该方法制备涂层导体薄膜具有沉积速度快、廉价以及非真空等优点. 对USP法的基本过程进行了阐述,综合评述了近
【机 构】
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南京邮电大学电子科学与工程学院,南京大学（苏州）高新技术研究院,南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2015年23期
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