氧化物半导体气敏膜片光学特性研究

来源 :华南理工大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:meteorwei66
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为了更深入地研究半导体气敏器件的气敏-光学特性,进一步提高其性能,地导体气敏元件的机理及光波在导电媒质中的传播,本文在实验基础上,建立了氧化物半导体气敏片的光学特性数学模型,导出了光通过膜片时上对透过率与膜片生长的若干主要因素的定量关系。
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