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要提高掩模板设计的效率和准确率,实现信息提取的自动化是关键。从芯片代工厂（Foundry）的掩模板设计标准流程出发,对于各步骤涉及的各类信息如何进行自动化处理,对于如何使用程序实现信息的系统化进行描述。
掩模板设计的信息提取自动化方法
【摘 要】
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要提高掩模板设计的效率和准确率,实现信息提取的自动化是关键。从芯片代工厂（Foundry）的掩模板设计标准流程出发,对于各步骤涉及的各类信息如何进行自动化处理,对于如何使用程
【机 构】
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2017年4期
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