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天线效应会在MOS集成电路制造中引起良率和可靠性的问题,当芯片尺寸在深亚微米以下的工艺中更容易产生。介绍了集成电路中天线效应产生的原理,以及在版图设计中为避免天线效应所常用的几种方法。
集成电路中的天线效应
【摘 要】
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天线效应会在MOS集成电路制造中引起良率和可靠性的问题,当芯片尺寸在深亚微米以下的工艺中更容易产生。介绍了集成电路中天线效应产生的原理,以及在版图设计中为避免天线效
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2011年06期
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