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介绍了影响扩散硅压力传感器性能的主要因素——零点漂移和灵敏度漂移,详细介绍了零点漂移和灵敏度漂移的两种补偿方法,并通过试验验证了两种补偿方法。
扩散硅压阻式传感器温度漂移性能及补偿算法研究
【摘 要】
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介绍了影响扩散硅压力传感器性能的主要因素——零点漂移和灵敏度漂移,详细介绍了零点漂移和灵敏度漂移的两种补偿方法,并通过试验验证了两种补偿方法。
【机 构】
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中航工业北京长城计量测试技术研究所,北京100095
【出 处】
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2009年全国压力计量测试技术交流年会
【发表日期】
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2009年9期
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