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电子束真空蒸发镀膜系统被广泛应用于现代半导体制造和材料表面改性等领域.基于真空和电子束来阐释Evatec公司(瑞士)的BAK761型电子束真空蒸发镀膜系统的基本结构与原理,并结合实际阐述生产中经常遇到的一些故障处理与维护保养方法.
Evatec BAK761电子束真空蒸发镀膜系统基本结构原理及维护
【摘 要】
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电子束真空蒸发镀膜系统被广泛应用于现代半导体制造和材料表面改性等领域.基于真空和电子束来阐释Evatec公司(瑞士)的BAK761型电子束真空蒸发镀膜系统的基本结构与原理,并结合实际阐述生产中经常遇到的一些故障处理与维护保养方法.
【机 构】
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成都海威华芯科技有限公司,四川 成都 610299
【出 处】
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电声技术
【发表日期】
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2021年9期
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