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综述了近年来国内外利用飞秒激光微加工的研究进展。飞秒激光脉冲作为材料微纳加工的一项工具,已经从实验室进入到工业化阶段。介绍了飞秒激光在微纳加工领域的一些研究情况,分别就飞秒激光烧蚀微加工以及双光子聚合加工进行了阐述。最后分析了飞秒激光微加工目前存在的问题及未来发展的主要方向。
飞秒激光微加工的研究进展
【摘 要】
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综述了近年来国内外利用飞秒激光微加工的研究进展。飞秒激光脉冲作为材料微纳加工的一项工具,已经从实验室进入到工业化阶段。介绍了飞秒激光在微纳加工领域的一些研究情况,
【机 构】
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天津市现代机电装备重点实验室天津工业大学机械工程学院,四川省制造与自动化重点实验室西华大学,辽宁省铁岭港华燃气有限公司技术设备部
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2013年01期
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