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本文介绍一种位移分辨率达2×10～(-10)m的激光测量系统,仪器光路结构简单,读数稳定度优于0.0015μm/h。仪器适用于微位移测量技术的研究,可对0.01μm量级电动测微仪的灵敏域,重复性,稳定量及细分精确度等项技术指标作可靠的检测。仪器在上海市标准计量管理局主持下,已通过了技术鉴定。
0.001μm微位移比对仪
【摘 要】
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本文介绍一种位移分辨率达2×10～(-10)m的激光测量系统,仪器光路结构简单,读数稳定度优于0.0015μm/h。仪器适用于微位移测量技术的研究,可对0.01μm量级电动测微仪的灵敏域,重复性,稳定量及细分精确度等项技术指标作可靠的检测。仪器在上海市标准计量管理局主持下,已通过了技术鉴定。
【出 处】
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磨床与磨削
【发表日期】
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1988年02期
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