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本文介绍了离子注入技术中双偏角注入,大偏角注入和双向双偏注入等新工艺与使用效果。同时,阐析了BF~+对Si~+注入的沾污,以及以上研究在研制高水平GaAs器件中的关键作用。
GaAs器件的离子注入新技术研究
【摘 要】
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本文介绍了离子注入技术中双偏角注入,大偏角注入和双向双偏注入等新工艺与使用效果。同时,阐析了BF~+对Si~+注入的沾污,以及以上研究在研制高水平GaAs器件中的关键作用。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所北京100083,北京100083,北京100083
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年3期
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