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通过采用环形传输线方法（CILM），电流-电压（I-V）曲线、表面形貌等方法，研究不同的Ni／Au厚度比和空气气氛下合金退火温度对p型氮化镓欧姆接触特性造成的影响。根据Ni／Au与p型氮化镓欧姆接触的形成机制，采用合适的Ni／Au厚度比及退火温度，得到比接触电阻率（ρc）为1．09×10^-5Ω·cm^2的Ni／Au-p-GaN电极，并分析了Ni在退火过程中对形成良好的欧姆接触中所起到的作用。