【摘 要】
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在分子束外延（MBE）中波HgCdTe薄膜过程中，利用反射式高能电子衍射（RHEED）对衬底表面脱氧和生长过程中生长参数对材料特性的影响进行研究。通过观察RHEED图样的变化，确定了衬底的脱
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在分子束外延（MBE）中波HgCdTe薄膜过程中，利用反射式高能电子衍射（RHEED）对衬底表面脱氧和生长过程中生长参数对材料特性的影响进行研究。通过观察RHEED图样的变化，确定了衬底的脱氧状况，获得了生长中衬底温度等生长参数变化引起材料结晶的变化规律，为MBE生长HgCdTe薄膜实验的可控生长提供有效帮助；生长结束后，通过SEM、Hall等手段对HgCdTe的表面缺陷、电学参数等性能进行了初步研究，证明实验说成长的材料基本满足器件制备的要求。
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