论文部分内容阅读
介绍了射频阻抗匹配的基本原理和常见的匹配网络类型,以串并联电容组成的Г型匹配网络为例,利用史密斯圆图,阐述了阻抗匹配的工作原理。介绍射频等离子技术在微电子工艺设备中的应用。给出了自动匹配网络的检测电路、电机驱动电路和控制电路,提出了优化自动阻抗匹配能力的方法。
射频等离子工艺设备中的自动阻抗匹配技术
【摘 要】
：
介绍了射频阻抗匹配的基本原理和常见的匹配网络类型,以串并联电容组成的Г型匹配网络为例,利用史密斯圆图,阐述了阻抗匹配的工作原理。介绍射频等离子技术在微电子工艺设备
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
：
电子技术应用
【发表日期】
：
2020年10期
其他文献
"一带一路"不仅是经济繁荣之路、人文交流之路,更是天下大同之道、和合文化之道。经济全球化新阶段引发的人文危机、精神危机、社会危机、国家危机和生态危机,对"一带一路"建
目的探讨自杀患者的心理干预措施。方法对自杀者从年龄、性别、自杀原因、文化程度等方面进行分析。针对不同患者给予不同的护理干预措施。结果77例自杀者，经过及时抢救和有效
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
由西条八十作词,服部良一作曲,李香兰演唱的名曲《苏州夜曲》,词曲浪漫优美,充满了日本音乐家对中国古典美的幻想,极剧江南韵味。在二战时期,精神生活极度贫乏的年代,一代日
目的探讨原发性高血压和心律失常之间的相关性,评定银杏蜜环口服溶液治疗的临床结局。方法选入2017年1月至2019年1月接收的原发性高血压患者846例,所有患者予以头颅CT/MRI、
叙述了中国煤炭开采的发展现状及井下采煤技术,分析了井下采煤技术及采煤工艺的选择,从而为日后采煤工作提供理论经验和实践基础。
芯片漏电会对LED灯珠稳定性和寿命造成很大影响,为此本文对LED样品的漏电失效机理进行了研究。在微光显微镜观测下,样品的芯片正电极位置存在漏电异常。利用氩离子精密刻蚀系
数字信息化发展背景下体育教学的开展可以通过信息技术的应用,以现代化的技术手段提高课程构建的智能化与自动化。为了确保用户在应用该系统时的安全性,系统的搭建要通过对于