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,One-Dimensional Fluid Model for Dust Particles in Dual-Frequency Capacitively Coupled Silane Discha
【机 构】
:
School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024
【出 处】
:
中国物理快报(英文版)
【发表日期】
:
2009年8期
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