论文部分内容阅读
回顾了应用于ＳＯＩ功率集成电路的ＳＯＩ功率器件的发展背影，论述了ＳＯＩ功率器件的开发现状，以及作为ＳＯＩ功率器件基础的ＳＯＩ材料制备技术和耐压结构研究的最新进展，同时指出了在ＳＯＩ功率器件研究中需要解决的问题，以及今后的研究发展重点。
SOI功率器件的新进展
【摘 要】
：
回顾了应用于ＳＯＩ功率集成电路的ＳＯＩ功率器件的发展背影，论述了ＳＯＩ功率器件的开发现状，以及作为ＳＯＩ功率器件基础的ＳＯＩ材料制备技术和耐压结构研究的最新进展，同时指出了在ＳＯＩ功率器件研究中需要解决
【机 构】
：
西安交通大学微电子所
【出 处】
：
固体电子学研究与进展
【发表日期】
：
2000年2期
其他文献
心理健康直接关系到初中生人格的形成,要使每一位初中生都拥有健康的心理,就必须对其内心世界和行为有充分的了解和认识,且要通过有效的教育策略来保护其心理健康,促使初中生