【摘 要】
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报道了用一步阳极氧化法在经过预处理的高纯铝片上制备具有纳米孔阵列结构的阳极氧化铝膜(AAM)的技术,并用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对样品形貌进行了表征.结
【机 构】
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西南科技大学材料科学与工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所
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报道了用一步阳极氧化法在经过预处理的高纯铝片上制备具有纳米孔阵列结构的阳极氧化铝膜(AAM)的技术,并用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对样品形貌进行了表征.结果表明,高纯铝片在0～20℃、0.1～0.5 mol/L的草酸溶液中用30～60V的直流电一步阳极氧化,再经过去铝和除阻挡层的过程,可制得纳米孔阵列阳极氧化铝膜.制得的阳极氧化铝膜中的孔,尺寸都在纳米级别,且大小均匀,相互平行排列成规整阵列,可用作制备纳米线阵列的模板.
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