论文部分内容阅读
一、材料表面形状的测量方法材料表面形状轮廓的测定是光学干涉计量的一个基本应用。对于不同的料材和生产加工过程中的不同要求,测量方法也各不相同,基本上可以分成两大类,一类是利用传统的干涉仪;另一类是近期发展起来的,以全息技术为基础的全息干涉度量技术。我们要测量材料表面的形状,基本思想就是用一个已知形状的标准波面去和被测材料表面形状(形变后的波面)进行比较,从而获得材料表面形状的信息。如果被测表面是平面,那么标准波面通常选用平面波。两个波面的比较是通过干涉来进行的,得到的等厚干涉条纹就是物体表面和一组等