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取向成像电子显微术试样的制备
取向成像电子显微术试样的制备
来源 :理化检验(物理分册) | 被引量 : 0次 | 上传用户:litang345
【摘 要】
:
鉴于电子背散射(EBSD)试样的制备质量对其成像质量有着很大影响,介绍了几种有效的试样制备方法,并对比了几种抛光方法及其成像效果.
【作 者】
:
李华清
谢水生
阎允杰
李旭东
【机 构】
:
北京有色金属研究总院,清华大学材料科学与工程研究院,兰州理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
理化检验(物理分册)
【发表日期】
:
2004年12期
【关键词】
:
取向成像电子显微术
试样制备
腐蚀抛光
电解抛光
离子减薄
OIM Preparation of sample Etching polishing Chemo-
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鉴于电子背散射(EBSD)试样的制备质量对其成像质量有着很大影响,介绍了几种有效的试样制备方法,并对比了几种抛光方法及其成像效果.
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