【摘 要】
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介绍气体微流量标准装置用比较测量法和直接测量法校准漏也的方法,并给出漏孔的校准结果。该标准装置的校准范围为17-1×10^-5Pa.L/s,不确定度小于2%。
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介绍气体微流量标准装置用比较测量法和直接测量法校准漏也的方法,并给出漏孔的校准结果。该标准装置的校准范围为17-1×10^-5Pa.L/s,不确定度小于2%。
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