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本文介绍了肖特基二极管背面金属化原理和制作过程,针对背面多层金属化系统的特点,分析了影响蒸发镀膜质量的原因,提出了相关解决措施。
肖特基二极管背面金属化工艺技术
【摘 要】
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本文介绍了肖特基二极管背面金属化原理和制作过程,针对背面多层金属化系统的特点,分析了影响蒸发镀膜质量的原因,提出了相关解决措施。
【机 构】
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天水天光半导体有限责任公司
【出 处】
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中国科技信息
【发表日期】
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2013年15期
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