【摘 要】
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自抗扰技术可以补偿微机电制造过程中的一些缺陷,避免被周围环境扰动,有效提高微机电传感器以及执行器的工作性能,提升其测量及移动精度。文章就一微机电陀螺仪这一微机电换
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自抗扰技术可以补偿微机电制造过程中的一些缺陷,避免被周围环境扰动,有效提高微机电传感器以及执行器的工作性能,提升其测量及移动精度。文章就一微机电陀螺仪这一微机电换能器为例就自抗扰控制技术的实践应用问题进行简要的讨论分析。
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