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期刊论文
HgCdTe化学束外延
HgCdTe化学束外延
来源 :红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nongfeng4
【摘 要】
:
本文讨论化学束外延解决的Hg_(1-x)Cd_xTe生长和掺杂中关键性材料问题的能力,及其增强组分和生长率控制的优点。通过评述窄禁带合金(X<0.3)的电子学和光导性能和对n-型碘掺杂
【作 者】
:
Summ
.CJ
李玲
【机 构】
:
美国佐治亚技术研究院物理科学实验室和微电子研究中心
【出 处】
:
红外
【发表日期】
:
1994年6期
【关键词】
:
HGCDTE
化学束外延
掺杂
半导体
电光性能
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本文讨论化学束外延解决的Hg_(1-x)Cd_xTe生长和掺杂中关键性材料问题的能力,及其增强组分和生长率控制的优点。通过评述窄禁带合金(X<0.3)的电子学和光导性能和对n-型碘掺杂CdTe的初步研究,实验演证了这一技术。
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