【摘 要】
：
很久以来，传统的光学显微技术一直是IC测量中的重要技术，但它正在被共焦扫描显微技术、相干探测显微技术和扫描电子显微技术等精度更高的技术所取代。本文重点对用于在线线宽测
论文部分内容阅读
很久以来，传统的光学显微技术一直是IC测量中的重要技术，但它正在被共焦扫描显微技术、相干探测显微技术和扫描电子显微技术等精度更高的技术所取代。本文重点对用于在线线宽测量的低压扫描电子显微镜进行了讨论。
Traditional optical microscopy has long been an important technique in IC measurement, but it is being replaced by more accurate techniques such as confocal scanning microscopy, coherent detection microscopy and scanning electron microscopy. This article focuses on low-pressure scanning electron microscopy for online line width measurements.
其他文献
数学实践活动,顾名思义,活动是形式,它既是数学内容的载体,又是实现教学目标的手段,这是区别于其他数学课堂教学的主要特点。小学阶段的实践与综合应用部分的实践活动大致可
口语能力的培养有助于学生书面表达能力的发展,有助于促进学生的智力、思维发展。重视口语,培养学生的听说能力是英语教学的目标。
Oral ability training helps to improve
国务院于1995年6月20日正式批准和颁布了《全民健身计划纲要》,它从面向21世纪,提高国民素质战略高度出发,对我国全民健身的目标、任务、措施提出了新的明确要求。在全面解析
由中国世界经济学会发起的“浦山世界经济学优秀论文奖”(简称浦山奖)即将启动第二届评选活动。“浦山奖”是中国世界经济研究领域的最高奖项。“浦山奖”由中国世界经济学会
在长期的教学中,老师都会感到学生学习没有情趣,就会对学习无动于衷,非常冷淡无助,劲头自然就会下降。反之,当学生对学习产生了兴趣,就会积极地参与教学,并能顺利地完成学习
夏季,从结果的银杏树上采回当年生短枝,剪成长7—10厘米,下切口削成斜面,基部浸水2小时后扦插在蛭石沙床上,在间歇喷雾条件下,插后第8天长出愈伤组织,第20天后陆续生根,27天
一、丰富的内容爱国主义教育。介绍我国丰富的动植物资源和珍贵的动植物种类;介绍我国栽培作物的悠久历史,讲授祖国古代生物科学成就,使学生热爱祖国,培养民族自尊心和自豪感
随着林业改革的逐步深化,理顺林业生产的内部关系,客观地反映我国林业生产的实际,是当前我国林业决策的当务之急。多年来,由于统计量计算方法上的失误,使我国的林业资源蒙受
目的探讨Livin靶向RNA干扰对SGC7901细胞株生物学特性的影响,探索胃癌基因治疗的新途径。方法设计和构建Livin特异性的siRNA真核表达载体,转染SGC7901细胞,应用RT-PCR分析Liv